ロイターの報道：中国は深圳でEUV光刻機を製造した。ロイターは以前、この光刻機が逆行工程によって完成されたと主張したが、その後、極紫外線励起などのコア技術モジュールは逆行工程によって完成されたものではないと明らかにした。

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